Microcircuit engineering 91, ME - proceedings of the International Conference on Microlithography, September 17-19, 1991, Rome, Italy
- Författare
- A. Tucciarone International Conference on Microlithography 1991) (Roma :
- (Edited by A. Tucciarone ..)
- Genre
- Ej skönlitteratur, Konferenspublikation, Konferenser
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| 1992 | Nederländerna | 581 sidor. |